离子束蚀刻机通用规范

基础信息

标准号：GB/T 15861-2012发布日期：2012-11-05实施日期：2013-02-15上次复审日期：2016-12-31上次复审结论：继续有效全部代替标准：GB/T 15861-1995标准类别：产品中国标准分类号：L97归口单位：工业和信息化部（电子）执行单位：工业和信息化部（电子）主管部门：工业和信息化部（电子）

起草单位

中国电子科技集团公司第四十八研究所

起草人

陈特超周大良

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