表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量
Surface chemical analysis - Depth profiling - Measurment of sputtered depth
基础信息
标准号:GB/T 29557-2013发布日期:2013-07-19实施日期:2014-03-01上次复审日期:2025-08-06上次复审结论:修订标准类别:方法中国标准分类号:G04国际标准分类号:71.040.40 归口单位:全国表面化学分析标准化技术委员会执行单位:全国表面化学分析标准化技术委员会主管部门:中国科学院
采标情况
本标准等同采用ISO国际标准:ISO/TR 15969:2001。采标中文名称:表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量。
起草单位
中山大学中国科学院大连化学物理研究所浙江大学
起草人
陈建张训生张卫红盛世善谢方艳龚力
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