蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法
Standard test method for thickness and thickness variation on sapphire substrates
基础信息
标准号:GB/T 30857-2014发布日期:2014-07-24实施日期:2015-04-01上次复审日期:2016-12-31上次复审结论:继续有效标准类别:方法中国标准分类号:H21国际标准分类号:77.040 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门:国家标准委
起草单位
协鑫光电科技控股有限公司浙江昀丰新能源科技有限公司中国科学院上海光机所
起草人
魏明德黄朝晖徐永亮刘逸枫杭寅
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