Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法

基础信息

标准号：GB/T 30654-2014发布日期：2014-12-31实施日期：2015-09-01上次复审日期：2016-12-31上次复审结论：继续有效标准类别：方法中国标准分类号：H21国际标准分类号：77.040.20 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

中国科学院半导体研究所

起草人

孙宝娟赵丽霞李晋闽王军喜曾一平

相近标准(计划)

GB/T 30653-2014 Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法GB/T 30655-2014 氮化物LED外延片内量子效率测试方法GB/T 35308-2017 太阳能电池用锗基Ⅲ-Ⅴ族化合物外延片20243061-T-469 300 mm硅外延片SJ/T 11471-2014 发光二极管外延片测试方法GB/T 14139-2019 硅外延片GB/T 14015-1992 硅-蓝宝石外延片SJ/T 11470-2014 发光二极管外延片GB/T 43885-2024碳化硅外延片GB/T 36646-2018 制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备

相关服务热线： 如需《GB/T 30654-2014》相关的服务，可直接联系。 微析检测业务区域覆盖全国，专注为高分子材料、金属、半导体、汽车、医疗器械等行业提供大型仪器测试、性能测试、成分检测等服务。