硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法

基础信息

标准号：GB/T 24575-2009发布日期：2009-10-30实施日期：2010-06-01上次复审日期：2016-12-31上次复审结论：继续有效标准类别：方法中国标准分类号：H80国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

采标情况

本标准修改采用其他国际标准：SEMI MF 1617-0304。采标中文名称:二次离子质谱法测定硅和硅外延衬底表面上钠、铝和钾。

起草单位

信息产业部专用材料质量监督检验中心中国电子科技集团公司第四十六研究所

起草人

何友琴马农农丁丽

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