硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法

基础信息

标准号：GB/T 14144-2009发布日期：2009-10-30实施日期：2010-06-01上次复审日期：2016-12-31上次复审结论：继续有效全部代替标准：GB/T 14144-1993标准类别：方法中国标准分类号：H80国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

采标情况

本标准修改采用其他国际标准：SEMI MF 1188-1105。采标中文名称:用红外吸收法测量硅中间隙氧原子含量的标准方法。

起草单位

峨嵋半导体材料厂

起草人

杨旭江莉

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