真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量
Vacuum technology - Sputter-ion pumps - Measurement of performance characteristics
基础信息
标准号：GB/T 25755-2010发布日期：2010-12-23实施日期：2011-10-01上次复审日期：2025-08-06上次复审结论：修订标准类别：方法中国标准分类号：J78国际标准分类号：23.160 归口单位：全国真空技术标准化技术委员会执行单位：全国真空技术标准化技术委员会主管部门：中国机械工业联合会
起草单位
北京中科科仪技术发展有限责任公司沈阳真空技术研究所
起草人
邹蒙张勤德李春影朱国精马殿理
相近标准(计划)
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