硅晶片上浅腐蚀坑检测的测试方法

基础信息

标准号：GB/T 26066-2010发布日期：2011-01-10实施日期：2011-10-01上次复审日期：2016-12-31上次复审结论：继续有效标准类别：方法中国标准分类号：H80国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

洛阳单晶硅有限责任公司

起草人

田素霞张静雯王文卫周涛

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