利用Si（111）晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法
Test method for calibrating the z-magnification of an atomic force microscope at subnanometer displacement levels using si (111) monatomic steps
基础信息
标准号：GB/T 27760-2011发布日期：2011-12-30实施日期：2012-05-01上次复审日期：2016-12-31上次复审结论：继续有效标准类别：方法中国标准分类号：N04国际标准分类号：19.020 归口单位：全国纳米技术标准化技术委员会执行单位：全国纳米技术标准化技术委员会主管部门：中国科学院
采标情况
本标准修改采用其他国际标准：ASTM E 2530-2006。采标中文名称:利用Si（111）晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法。
起草单位
国家纳米科学中心
起草人
朱晓阳杨延莲贺蒙高洁
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