砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法

基础信息

标准号：GB/T 11068-2006发布日期：2006-07-18实施日期：2006-11-01上次复审日期：2023-12-28上次复审结论：继续有效全部代替标准：GB/T 11068-1989标准类别：方法中国标准分类号：H17国际标准分类号：77.040.01 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会、全国有色金属标准化技术委员会副归口单位：全国有色金属标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

北京有色金属研究总院

起草人

王彤涵

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