扩散炉能源消耗规范
行业标准
电子
基础信息
标准号：SJ/T 11451-2022
发布日期：2022-10-20
实施日期：2023-01-01
制修订：修订
代替标准：SJ/T 11451—2013
中国标准分类号：L 97
国际标准分类号：27.01
技术归口：中国电子技术标准化研究院
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
标准类别：方法标准
备案信息
备案号：89619-2023
备案日期：2023-06-08
备案月报：2023年第6号(总第278号)
适用范围
适用于工作温度在400 ℃～1 350 ℃的扩散/氧化、退火、合金工艺使用的扩散炉
起草单位
北京北方华创微电子装备有限公司、中国电子技术标准化研究院、晶澳太阳能科技股份有限公司、株洲中车时代半导体有限公司、英利能源（中国）有限公司、北京赛西认证有限责任公司
起草人
李补忠、吴秀祥、孙朋涛、张颖、郝晓明、赵永猛、刘月雷、张红妹、张生春、李琳
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