喷雾式涂覆设备通用规范
基础信息
标准号:SJ/T 11576-2016
发布日期:2016-01-15
实施日期:2016-06-01
制修订:制定
中国标准分类号:L95
国际标准分类号:31.550
技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门:工业和信息化部
行业分类:无
标准类别:产品标准
备案信息
备案号:54855-2016
备案日期:2016-06-22
备案公告:2016年第7号(总第199号)
起草单位
沈阳芯源微电子设备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院
起草人
贺立波、徐春旭、汪明波 等
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