电子产品用高纯石英砂 第1部分 技术条件
基础信息
标准号:SJ/T 3328.1-2016
发布日期:2016-01-15
实施日期:2016-06-01
制修订:修订
代替标准:SJ 3228.1-1989
中国标准分类号:L90
国际标准分类号:31.030
技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门:工业和信息化部
行业分类:无
标准类别:产品标准
备案信息
备案号:54869-2016
备案日期:2016-06-22
备案公告:2016年第7号(总第199号)
起草单位
工业和信息化部电子工业标准化研究院、国家硅材料深加工产品质量监督检验中心、东海县产品质量监督检验所
起草人
李运强、程尚栩、许振午 等
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