电子工业用显影液中四甲基氢氧化铵的测定 自动电位滴定法
基础信息
标准号:SJ/T 11636-2016
发布日期:2016-04-05
实施日期:2016-09-01
制修订:制定
中国标准分类号:L90
国际标准分类号:31.030
技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门:工业和信息化部
行业分类:无
标准类别:方法标准
备案信息
备案号:55018-2016
备案日期:2016-06-29
备案公告:2016年第7号(总第199号)
起草单位
杭州格林达化学有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院
起草人
尹云舰、王香、陈玉英 等
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