红外吸收法测量砷化镓中硼含量
基础信息
标准号:SJ/T 11496-2015
发布日期:2015-04-30
实施日期:2015-10-01
制修订:制定
中国标准分类号:H83
国际标准分类号:29.045
技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门:工业和信息化部
行业分类:无
标准类别:方法标准
备案信息
备案号:50553-2015
备案日期:2015-07-08
备案公告:2015年第7号(总第187号)
起草单位
信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等
起草人
李静、何秀坤、刘兵 等
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