集成电路用 铝腐蚀液
基础信息
标准号:SJ/T 11506-2015
发布日期:2015-04-30
实施日期:2015-10-01
制修订:制定
中国标准分类号:L90
国际标准分类号:31.030
技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门:工业和信息化部
行业分类:无
标准类别:产品标准
备案信息
备案号:50563-2015
备案日期:2015-07-08
备案公告:2015年第7号(总第187号)
起草单位
江阴润玛电子材料股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院
起草人
戈士勇、何珂、王周霞 等
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