化学气相沉积炉
基础信息
标准号:YS/T 1031-2015
发布日期:2015-04-30
实施日期:2015-10-01
制修订:制定
中国标准分类号:H91
国际标准分类号:77.180.
技术归口:全国有色金属标准化技术委员会
批准发布部门:工业和信息化部
行业分类:制造业
标准类别:产品标准
备案信息
备案号:50342-2015
备案日期:2015-07-08
备案公告:2015年第7号(总第187号)
适用范围
本标准适用于化学气相沉积。
起草单位
湖南顶立科技有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所等
起草人
戴煜、 胡祥龙、 胡高健等
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