溅射用钽靶材
行业标准
有色金属
基础信息
标准号：YS/T 1024-2015
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
制修订：制定
中国标准分类号：H63
国际标准分类号：77.150.99
技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：制造业
标准类别：产品标准
备案信息
备案号：50322-2015
备案日期：2015-07-08
备案公告：2015年第7号(总第187号)
适用范围
本标准适用于以真空电子束熔炼的高纯钽锭为原料，通过塑性加工、热处理、机械加工、焊接等方法制造的溅射用钽靶材（以下简称钽靶材）
起草单位
宁夏东方钽业股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司等
起草人
钟景明、李桂鹏、汪凯等
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