金铍蒸发料
行业标准
有色金属
基础信息
标准号：YS/T 1069-2015
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
制修订：制定
中国标准分类号：H68
国际标准分类号：77.150.99
技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：制造业
标准类别：产品标准
备案信息
备案号：50420-2015
备案日期：2015-07-08
备案公告：2015年第7号(总第187号)
适用范围
本标准适用于半导体行业用金铍合金蒸发材料。
起草单位
贵研铂业股份有限公司、有色金属技术经济研究院
起草人
谢宏潮、阳岸恒、向磊等
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