以布鲁斯特角入设P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量
行业标准
电子
基础信息
标准号：SJ/T 11552-2015
发布日期：2015-10-10
实施日期：2016-04-01
制修订：制定
中国标准分类号：H82
国际标准分类号：29.045
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
标准类别：方法标准
备案信息
备案号：52020-2015
备案日期：2015-11-20
备案公告：2015年第12号(总第192号)
起草单位
信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等
起草人
李静、何秀坤、刘兵 等
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