表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法
Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials
基础信息
标准号：GB/T 22572-2008发布日期：2008-12-11实施日期：2009-10-01上次复审日期：2016-12-31上次复审结论：继续有效标准类别：方法中国标准分类号：G04国际标准分类号：71.040.40 归口单位：全国表面化学分析标准化技术委员会执行单位：全国表面化学分析标准化技术委员会主管部门：中国科学院
采标情况
本标准等同采用ISO国际标准：ISO 20341:2003。采标中文名称:表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法。
起草单位
信息产业部专用材料质量监督检验中心
起草人
马农农何友琴何秀坤
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