光刻用掺钛石英玻璃
Titania doped silica glass for lithography
基础信息
标准号:GB/T 45826-2025发布日期:2025-05-30实施日期:2025-12-01标准类别:产品中国标准分类号:Q35国际标准分类号:81.040.30 归口单位:全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会执行单位:全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会主管部门:中国建筑材料联合会
起草单位
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起草人
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相近标准(计划)
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