硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法

基础信息

标准号：GB/T 35306-2023发布日期：2023-08-06实施日期：2024-03-01全部代替标准：GB/T 35306-2017标准类别：方法中国标准分类号：H17国际标准分类号：77.040 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

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起草人

薛心禄秦榕邓浩岳玉芳张园园赵跃陈卫国路盛刚邱艳梅李向宇汪奇李素青杨晓青李明珍赵雄雷浩东蔡延国徐岩张遵杨阳徐志群

相近标准(计划)

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