纳米技术 光栅的描述、测量和尺寸质量参数

基础信息

标准号：GB/Z 43684-2024发布日期：2024-03-15实施日期：2024-10-01标准类别：方法中国标准分类号：L04国际标准分类号：07.120 归口单位：全国纳米技术标准化技术委员会执行单位：全国纳米技术标准化技术委员会主管部门：中国科学院

采标情况

本标准等同采用IEC国际标准：IEC TS 62622:2012。采标中文名称:纳米技术 人造光栅的描述，测量和尺寸质量参数。

起草单位

中国计量科学研究院清华大学广纳四维（广东）光电科技有限公司北京大学苏州苏大维格科技集团股份有限公司

起草人

李伟李适陈林森李晓军施玉书黄鹭华鉴瑜朱振东李群庆高思田李琪史瑞乔文

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