电子气体 四氟甲烷
Electronic gas—Tetrafluoromethane
基础信息
标准号:GB/T 43976-2024发布日期:2024-04-25实施日期:2024-11-01标准类别:产品中国标准分类号:G86国际标准分类号:71.100.20 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会主管部门:国家标准委
起草单位
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起草人
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