纳米技术 微区表面及亚表面表征 光学暗场共焦显微法
Nanotechnologies—Characterization of micro surface and sub surface—Optical dark-field confocal microscopy
基础信息
标准号：GB/T 44926-2024发布日期：2024-12-31实施日期：2025-07-01标准类别：方法中国标准分类号：N51国际标准分类号：17.040.30 归口单位：全国纳米技术标准化技术委员会执行单位：全国纳米技术标准化技术委员会主管部门：中国科学院
起草单位
哈尔滨工业大学昆明物理研究所北京微电子技术研究所中国计量科学研究院西安应用光学研究所航天科工防御技术研究试验中心
起草人
刘俭施玉书胡旭张云龙刘辰光张树李冬梅冯慧
相近标准(计划)
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