纳米尺度科研生产受控环境规划与设计
Planning and design of controlled environments for research and production at the nanometer scale
基础信息
标准号:GB/T 40868-2021发布日期:2021-10-11实施日期:2022-05-01标准类别:方法中国标准分类号:C70国际标准分类号:13.040.35 归口单位:全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会执行单位:全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会纳米受控环境分会主管部门:国家标准委
起草单位
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起草人
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相近标准(计划)
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