磷化铟单晶

基础信息

标准号：GB/T 20230-2022发布日期：2022-03-09实施日期：2022-10-01全部代替标准：GB/T 20230-2006标准类别：产品中国标准分类号：H83国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

中国电子科技集团公司第十三研究所广东先导微电子科技有限公司有色金属技术经济研究院有限责任公司云南鑫耀半导体材料有限公司有研国晶辉新材料有限公司

起草人

孙聂枫李晓岚惠峰李素青邵会民周铁军王博张晓丹王阳刘惠生朱刘王书杰史艳磊付莉杰姜剑王宇

相近标准(计划)

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