氮化铝材料中痕量元素（镁、镓）含量及分布的测定 二次离子质谱法
Determination of the content and distribution of trace elements (magnesium, gallium) in aluminum nitride materials—Secondary ion mass spectrometry
基础信息
标准号：GB/T 42274-2022发布日期：2022-12-30实施日期：2023-04-01标准类别：方法中国标准分类号：H17国际标准分类号：77.040 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委
起草单位
北京科技大学有色金属技术经济研究院有限责任公司青海圣诺光电科技有限公司中国科学院半导体研究所中国科学院青海盐湖研究所
起草人
齐俊杰魏学成卫喆胡超胜王军喜李晋闽张成荣闫丹李素青李志超许磊魏明刘江华
相近标准(计划)
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