电子级多晶硅

基础信息

标准号：GB/T 12963-2022发布日期：2022-12-30实施日期：2023-07-01全部代替标准：GB/T 12963-2014标准类别：产品中国标准分类号：H82国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

江苏鑫华半导体科技股份有限公司青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司有研半导体硅材料股份公司亚洲硅业（青海）股份有限公司新特能源股份有限公司上海赛夫特半导体材料有限公司浙江海纳半导体股份有限公司东方电气（乐山）峨半高纯材料有限公司有色金属技术经济研究院有限责任公司江苏中能硅业科技发展有限公司麦斯克电子材料股份有限公司陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司四川永祥新能源有限公司宜昌南玻硅材料有限公司洛阳中硅高科技有限公司

起草人

田新将文武李素青秦榕贺东江陈卫群邱艳梅李斌付绪光董先君雷聪赵培芝万首正王彬孙燕宗冰徐岩刘晓霞张遵潘金平张园园

相近标准(计划)

GB/T 37049-2018 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法20232465-T-469 电子级四甲基硅烷20232463-T-469 电子级四氯化钛20232462-T-469 电子级八甲基环四硅氧烷20231180-T-469 电子级磷酸20251931-T-469 电子级水制备用膜产品技术要求20231185-T-469 电子级N-甲基-2-吡咯烷酮20231182-T-469 电子级四（二甲氨基）钛20231195-T-469 电子级五（二甲氨基）钽GB/T 28159-2011 电子级磷酸

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