纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法

基础信息

标准号：GB/T 42106-2022发布日期：2022-12-30实施日期：2023-07-01标准类别：方法中国标准分类号：A42国际标准分类号：07.030 归口单位：全国纳米技术标准化技术委员会执行单位：全国纳米技术标准化技术委员会主管部门：中国科学院

起草单位

中国科学院物理研究所深圳市标准技术研究院国家纳米科学中心

起草人

顾长志杨海方王益群樊阳波李俊杰刘前

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