真空技术 真空计 用于分压力测量的四极质谱仪特性
Vacuum technology—Vacuum gauges—Characterization of quadrupole mass spectrometers for partial pressure measurement
基础信息
标准号:GB/Z 42625-2023发布日期:2023-05-23实施日期:2023-05-23标准类别:方法中国标准分类号:J78国际标准分类号:23.160 归口单位:全国真空技术标准化技术委员会执行单位:全国真空技术标准化技术委员会主管部门:中国机械工业联合会
采标情况
本标准等同采用ISO国际标准:ISO/TS 20175:2018。采标中文名称:真空技术真空计用于分压力测量的四极质谱仪特性。
起草单位
北京卫星环境工程研究所上海精密计量测试研究所沈阳汇真真空技术有限公司沈阳真空技术研究所有限公司中国航天科技集团有限公司第五研究院第五一0研究所重庆云海机械制造有限公司湖南维格磁流体股份有限公司
起草人
孙立臣任国华成永军孙雯君翁俊倪博言继春王功发李唯丹郭崇武窦仁超张子罡管保国宋青竹崔寓淏周雪茜赵澜肖寅枫唐俊聪王帆王莉娜闫荣鑫韩琰刘恩均李征陈联苏玉萍王玲玲
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