微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法

基础信息

标准号：GB/T 42896-2023发布日期：2023-08-06实施日期：2023-12-01标准类别：方法中国标准分类号：L59国际标准分类号：31.200 归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

北京大学中国电子技术标准化研究院宁波芯健半导体有限公司上海临港新片区跨境数据科技有限公司中机生产力促进中心有限公司北京燕东微电子科技有限公司深圳市美思先端电子有限公司广州奥松电子股份有限公司

起草人

张大成杨芳刘鹏王旭峰于志恒陈艺张彦秀罗书明张宾李根梓顾枫李凤阳高程武华璇卿刘若冰武斌张启心

相近标准(计划)

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