氮化镓激光剥离设备

基础信息

标准号：GB/T 37466-2019发布日期：2019-06-04实施日期：2019-10-01标准类别：产品中国标准分类号：L95国际标准分类号：31-550 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

东莞市中镓半导体科技有限公司中国电子技术标准化研究院

起草人

孙永健刘鹏汪青丁晓民冯亚彬

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