微机电系统(MEMS)技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法
Micro-electromechanical system technology—The reliability test methods of MEMS in integrated environments
基础信息
标准号:GB/T 38341-2019发布日期:2019-12-31实施日期:2020-04-01标准类别:方法中国标准分类号:L55国际标准分类号:31.200 归口单位:全国微机电技术标准化技术委员会执行单位:全国微机电技术标准化技术委员会主管部门:国家标准委
起草单位
东南大学佛山市川东磁电股份有限公司浙江博亚精密机械有限公司无锡华润上华科技有限公司中北大学北京必创科技股份有限公司华为技术有限公司中机生产力促进中心沈阳国仪检测技术有限公司北京大学中国科学院电子学研究所
起草人
王磊黄创君朱悦夏长奉石云波李海斌张威程逸轩于振毅陆学贵黄庆安龙克文肖昆辉郑凤杰马书嫏陈得民
相近标准(计划)
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