硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法
Test method for the oxygen concentration in silicon materials—Inert gas fusion infrared detection method
基础信息
标准号：GB/T 38976-2020发布日期：2020-07-21实施日期：2021-06-01标准类别：方法中国标准分类号：H17国际标准分类号：77.040 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委
起草单位
有研半导体材料有限公司有色金属技术经济研究院厦门银固美能源科技有限公司上海合晶硅材料有限公司北京聚睿众邦科技有限公司
起草人
王永涛孙燕任丹雅赵志婷陆敏林兴乐徐新华胡金枝蔡丽艳杨素心
相近标准(计划)
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