蓝宝石晶体X射线双晶衍射摇摆曲线测量方法

基础信息

标准号：GB/T 34612-2017发布日期：2017-10-14实施日期：2018-05-01标准类别：方法中国标准分类号：H21国际标准分类号：77.040 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

中国科学院上海光学精密机械研究所中国科学院新疆理化技术研究所江苏浩瀚蓝宝石科技有限公司上海大恒光学精密机械有限公司新疆紫晶光电技术有限公司丹东新东方晶体仪器有限公司

起草人

杭寅徐民赵兴俭郭宏鹤潘世烈张方方赵松彬

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