电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

基础信息

标准号：GB/T 34972-2017发布日期：2017-11-01实施日期：2018-02-01标准类别：方法中国标准分类号：G86国际标准分类号：71.040.40 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

上海市计量测试技术研究院高麦仪器公司北京华宇同方化工科技开发有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司西南化工研究设计院有限公司广东华特气体股份有限公司苏州金宏气体股份有限公司中昊光明化工研究设计院有限公司

起草人

陈鹰姜阳傅铸红杜汉盛方华常侠周鹏云牛艳东江罗许军洲

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