电子级三乙基镓
Electronic grade triethylgallium
基础信息
标准号:GB/T 36656-2018发布日期:2018-09-17实施日期:2019-01-01标准类别:产品中国标准分类号:G86国际标准分类号:71.100.20 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门:国家标准委
起草单位
江苏南大光电材料股份有限公司中国电子技术标准化研究院
起草人
陈化冰孙明璐王香曹可慰
相近标准(计划)
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