氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法

基础信息

标准号：GB/T 36705-2018发布日期：2018-09-17实施日期：2019-06-01标准类别：方法中国标准分类号：H21国际标准分类号：77.040 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟东莞市中镓半导体科技有限公司苏州纳维科技有限公司有色金属技术经济研究院中国电子技术标准化研究院

起草人

郑树楠张育民王建峰徐科丁晓民陆敏石林邱永鑫付雪涛杨素心杨建

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