硅多晶气氛区熔基磷检验方法

基础信息

标准号：GB/T 4059-2018发布日期：2018-12-28实施日期：2019-11-01全部代替标准：GB/T 4059-2007标准类别：方法中国标准分类号：H17国际标准分类号：77.040 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

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起草人

胡伟耿全荣柳德发薛心禄宗凤云邱艳梅楚东旭刘翠梁洪唐珊珊胡自强鲁文锋蔡延国尹东林刘国霞高明王瑞姚利忠王佳

相近标准(计划)

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