电子工业用气体 六氟化钨

基础信息

标准号：GB/T 32386-2015发布日期：2015-12-31实施日期：2016-07-01上次复审日期：2016-12-31上次复审结论：继续有效标准类别：产品中国标准分类号：G86国际标准分类号：71.100.20 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会主管部门：国家标准委

起草单位

中国船舶重工集团公司第七一八研究所西南化工研究设计院有限公司上海仪盟电子科技有限公司厦门钨业股份有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司

起草人

郑秋艳江海风林竹光王志信周鹏云王占卫方兰兰方华杨仁

相近标准(计划)

20243664-T-469 电子气体六氟化钨GB/T 18867-2014 电子工业用气体六氟化硫GB/T 18867-2025 电子气体 六氟化硫20243665-T-469 电子气体四氟化硅20200510-T-604 压力式六氟化硫气体密度控制器 GB/T 14603-2009 电子工业用气体三氟化硼GB/T 31058-2014 电子工业用气体四氟化硅DL/T 920-2019 六氟化硫气体中空气、四氟化碳、六氟乙烷和八氟丙烷的测定 气相色谱法GB/T 34091-2017 电子工业用气体 六氟乙烷DL/T 918-2005 六氟化硫气体中可水解氟化物含量测定法

相关服务热线： 如需《GB/T 32386-2015》相关的服务，可直接联系。 微析检测业务区域覆盖全国，专注为高分子材料、金属、半导体、汽车、医疗器械等行业提供大型仪器测试、性能测试、成分检测等服务。