多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料
Fused quartz used for quartz ceramic crucibles for casting polycrystalline silicon
基础信息
标准号:GB/T 32652-2016发布日期:2016-04-25实施日期:2016-11-01上次复审日期:2016-12-31上次复审结论:继续有效标准类别:产品中国标准分类号:L90国际标准分类号:31.030 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门:国家标准委
起草单位
国家硅材料深加工产品质量监督检验中心江苏中腾石英材料科技有限公司中国电子技术标准化研究院东海县产品质量监督检验所中材高新江苏硅材料有限公司
起草人
薄雷明程尚栩王祥许振午冯亚彬栾振祥张存君李建德管琪
相近标准(计划)
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