电感耦合等离子质谱法检测石英砂中痕量元素
Determining the content of trace elements in arenaceous quartz by inductively coupled plasma mass spectrometry(ICP-MS)
基础信息
标准号:GB/T 32650-2016发布日期:2016-04-25实施日期:2016-11-01上次复审日期:2016-12-31上次复审结论:继续有效标准类别:方法中国标准分类号:L90国际标准分类号:31.030 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门:国家标准委
起草单位
国家硅材料深加工产品质量监督检验中心东海县产品质量监督检验所中国电子技术标准化研究院江苏太平洋石英股份有限公司
起草人
李运强薄雷明许振午武为民冯亚彬管琪周文梅
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