光刻用石英玻璃晶圆
Quartz glass wafer for lithography
基础信息
标准号:GB/T 34177-2017发布日期:2017-09-07实施日期:2018-08-01上次复审日期:2025-07-01上次复审结论:继续有效标准类别:产品中国标准分类号:Q35国际标准分类号:81.040.30 归口单位:全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会执行单位:全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会主管部门:中国建筑材料联合会
起草单位
中国建材检验认证集团股份有限公司长沙韶光铬版有限公司国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心中建材衢州金格兰石英有限公司中国建筑材料科学研究总院
起草人
吴洁王京侠花宁刘焕敏张浩运杨晓会张应语王友军李弋舟肖颂华聂兰舰杨学东孔敏
相近标准(计划)
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