表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定
Surface chemical analysis - Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy - Determination of lateral resolution
基础信息
标准号:GB/T 28632-2012发布日期:2012-07-31实施日期:2013-02-01上次复审日期:2025-08-06上次复审结论:修订标准类别:方法中国标准分类号:G04国际标准分类号:71.040.40 归口单位:全国表面化学分析标准化技术委员会执行单位:全国表面化学分析标准化技术委员会主管部门:中国科学院
采标情况
本标准等同采用ISO国际标准:ISO 18516:2006。采标中文名称:表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定。
起草单位
上海市计量测试技术研究院纳米技术及应用国家工程研究中心
起草人
徐建陆敏辛立辉何丹农吴立敏朱丽娜张冰
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