离子注入机通用规范
General specification of ion implantation equipment
基础信息
标准号:GB/T 15862-2012发布日期:2012-11-05实施日期:2013-02-15上次复审日期:2016-12-31上次复审结论:继续有效全部代替标准:GB/T 15862-1995标准类别:产品中国标准分类号:L97归口单位:工业和信息化部(电子)执行单位:工业和信息化部(电子)主管部门:工业和信息化部(电子)
起草单位
中国电子科技集团公司第四十八研究所
起草人
郭健辉彭立波罗宏洋
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