硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法
Trichlorosilane for silicon epitaxy - Determination of boron，aluminium，phosphorus，vanadium，chrome，manganese，iron，cobalt，nickel，copper，molybdenum，arsenic and antimony content - Inductively coupled plasma mass spectrometric method
基础信息
标准号：GB/T 29056-2012发布日期：2012-12-31实施日期：2013-10-01上次复审日期：2016-12-31上次复审结论：继续有效标准类别：方法中国标准分类号：L90国际标准分类号：31-030 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委
起草单位
南京中锗科技股份有限公司南京大学国家863计划新材料MO源研究开发中心南京大学现代分析中心
起草人
郑华荣刘新军黄和明陈逸君龚磊荣张莉萍
相近标准(计划)
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