电子工业用气体 六氟化硫

基础信息

标准号：GB/T 18867-2014发布日期：2014-12-22实施日期：2015-07-01上次复审日期：2016-12-31上次复审结论：继续有效全部代替标准：GB/T 18867-2002标准类别：产品中国标准分类号：G86国际标准分类号：71.100.20 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会主管部门：国家标准委

起草单位

黎明化工研究设计院有限责任公司青海信禾高精化工有限公司四川众力氟业有限责任公司大连大特气体有限公司上海仪盟电子科技有限公司成都科美特氟业塑胶有限公司佛山市华特气体有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司四川中测标物科技有限公司

起草人

黄晓磊牛学坤刘长庆任清贵赖明贵傅涛

相近标准(计划)

GB/T 18867-2025 电子气体 六氟化硫20200510-T-604 压力式六氟化硫气体密度控制器 DL/T 1986-2019 六氟化硫混合气体绝缘设备气体检测技术规范GB/T 16942-2009 电子工业用气体氢SJ/T 11517-2015 电子工业用气体 一氧化碳GB/T 14601-2009 电子工业用气体氨GB/T 16945-2009 电子工业用气体氩GB/T 14604-2009 电子工业用气体氧GB/T 16943-2009 电子工业用气体氦GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷

相关服务热线： 如需《GB/T 18867-2014》相关的服务，可直接联系。 微析检测业务区域覆盖全国，专注为高分子材料、金属、半导体、汽车、医疗器械等行业提供大型仪器测试、性能测试、成分检测等服务。