电子工业用气体 四氟化硅

基础信息

标准号：GB/T 31058-2014发布日期：2014-12-22实施日期：2015-07-01上次复审日期：2016-12-31上次复审结论：继续有效标准类别：产品中国标准分类号：G86国际标准分类号：71.100.20 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会主管部门：国家标准委

起草单位

核工业理化工程研究院华核新技术开发公司绿菱电子材料（天津）有限公司贵州大学佛山市华特气体有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司西南化工研究设计院有限公司

起草人

邓建平李于教崔学文方华傅铸红汤有伦

相近标准(计划)

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